Încălzitoare PFA de-puritate ridicată pentru fabricarea de semiconductori și electronice — cerințe și aplicații speciale

În industriile semiconductoare, microelectronice și farmaceutice, cerințele de puritate pentru substanțele chimice de proces sunt extrem de stricte și chiar și poluarea cu urme de ioni metalici va duce la casarea produsului sau la degradarea calității. Încălzitoarele industriale obișnuite cu PFA de calitate-nu pot îndeplini cerințe atât de ridicate de curățenie, așa că încălzitoarele PFA de calitate-electronice de înaltă puritate-au apărut ca o categorie specială. Aceste încălzitoare folosesc rășină PFA de puritate ultra-și sunt fabricate în condiții stricte de producție curată, asigurând precipitarea zero ioni în timpul utilizării și devenind echipamente standard de încălzire pentru procesele de curățare-de ultimă generație.

Diferența de bază dintre încălzitoarele PFA de{0}}puritate ridicată și produsele industriale obișnuite-constă în puritatea materiilor prime. Rășina PFA de calitate electronică folosește procese speciale de polimerizare și purificare, cu conținut extrem de scăzut de impurități metalice, ioni de fluor și reziduuri organice. Precipitarea ionilor metalici ai PFA de puritate-înaltă după imersie pe termen lung este de obicei la nivelul ppt (părți per trilion), în timp ce PFA industrial obișnuit poate fi la nivelul ppm, o diferență de milioane de ori. Această caracteristică de precipitații ultra-scăzute asigură că procesul de încălzire nu va polua soluțiile chimice de-puritate ridicată, îndeplinind cerințele stricte de curățenie ale procesării plachetelor.

În producția de semiconductori, încălzitoarele PFA de{0}}puritate ridicată sunt utilizate pe scară largă în diferite legături de proces umed. Mașinile de curățare a plachetelor trebuie să încălzească diverse soluții de curățare chimică, cum ar fi SC1, SC2, peroxid de hidrogen cu acid sulfuric etc. Încălzitoarele PFA de puritate-înaltă pot scufunda și încălzi direct fără a introduce nicio poluare cu metale. În procesele de încălzire a soluției de decapare și gravare a fotorezist, PFA de înaltă-puritate prezintă, de asemenea, o rezistență excelentă la coroziune și curățenie. În plus, încălzitoarele PFA de puritate-înaltă sunt, de asemenea, configurații standard în producția farmaceutică, analize de laborator și alte ocazii care necesită încălzire cu soluție ultra-pură.

Procesul de fabricație al încălzitoarelor PFA de înaltă puritate- are un control mult mai strict decât produsele industriale obișnuite. Întregul proces de producție trebuie finalizat într-un atelier curat de clasa 100 sau mai mare pentru a evita poluarea cu particule în mediu. Toate uneltele și accesoriile trebuie să utilizeze materiale fluoroplastice de înaltă puritate-și nu pot intra în contact cu niciun metal care poate cauza poluare. După producție, produsele trebuie să treacă prin curățare cu apă ultra-cu mai multe canale ultra-și ambalaje curate pentru a se asigura că produsele livrate clienților sunt într-o stare curată care poate fi utilizată direct.

Verificarea calității încălzitoarelor PFA de-puritate ridicată necesită, de asemenea, standarde speciale de testare. În plus față de detectarea convențională a găurii și detecția grosimii, este, de asemenea, necesar să se efectueze testul de precipitare ionică, testul TOC (carbon organic total) și testul numărului de particule pentru a verifica nivelul de curățenie. Numai produsele care au trecut aceste teste stricte pot fi folosite în procese de curățare-de ultimă generație. Desigur, prețul încălzitoarelor cu PFA de puritate ridicată este, de asemenea, semnificativ mai mare decât al produselor de calitate industrială, de obicei de 2 până la 3 ori mai mare decât al încălzitoarelor PFA obișnuite.

Tabelul 1 Comparația dintre încălzitoarele PFA de calitate industriale-și electronice-

表格

Cu precipitații de ioni ultra-scăzute și curățenie ridicată, încălzitoarele PFA de puritate-înaltă au devenit un echipament cheie indispensabil în industria semiconductoarelor și în industria de producție de vârf-.